所謂真空熱處理是工件在10-1~10-2Pa真空介質中進行加熱到所需要的溫度，然后在不同介質中以不同冷速進行冷卻的熱處理方法。 真空熱處理被當代熱處理界稱為高效、節(jié)能和無污染的清潔熱處理。真空熱處理的零件具有無氧化，無脫碳、脫氣、脫脂，表面質量好，變形小，綜合力學性能高，可靠性好(重復性好，壽命穩(wěn)定)等一系列優(yōu)點。因此，真空熱處理受到國內外廣泛的重視和普遍的應用。并把真空熱處理普及程度作為衡量一個國家熱處理技術水平的重要標志。真空熱處理技術是近四十年以來熱處理工藝發(fā)展的熱點，也是當今先進制造技術的重要領域。

　　一、真空熱處理工藝原理和真空熱處理和加熱特點

　　工藝原理

　　(1)金屬在真空狀態(tài)下的相變特點。 在與大氣壓只差0.1MPa范圍內的真空下，固態(tài)相變熱力學、動力學不產生什么變化。在制訂真空熱處理工藝規(guī)程時，完全可以依據在常壓下固態(tài)相變的原理。完全可以參考常壓下各種類型組織轉變的數據。

　　(2)真空脫氣作用，提高金屬材料的物理性能和力學性能。

　　(3)真空脫脂作用。

　　(4)金屬的蒸發(fā)：在真空狀態(tài)下加熱，工件表面元素會發(fā)生蒸發(fā)現象。

　　(5)表面凈化作用，實現少無氧化和少無脫碳加熱。

　　(6)金屬實現無氧化加熱所需的真空度。